玉崎科学仪器(深圳)有限公司
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日本EBARA荏原EV-S20N多级罗茨干式真空泵(无油干泵)
EV-S20:基础机型,20 = 标称抽速 2000L/min
N:镍合金防腐 + 内置氮气吹扫 N₂(P = 仅氮气吹扫、普通材质),适配含腐蚀性工艺气体
节能变频:可调转速 + 休眠怠速模式,同规格功耗行业偏低;
防腐配置:N 型镍合金腔体 + 自带氮气吹扫,耐酸碱、蚀刻废气;
智能控制:自带 LCD 可编程面板、故障报警 + 运行数据存储;
合规标准:SEMI-S2、CE、NRTL,半导体原厂标配规格。