一、型号定义

• 100：额定抽速10000L/min（600m³/h）

• N：过流腔体镍合金防腐 + 标配内置 N₂氮气吹扫（P = 普通材质 + 氮吹；裸 S 无氮吹、普通铸铁），适配含酸碱 / 卤素腐蚀性工艺废气

二、核心技术参数

三、产品亮点

1. 全防腐 N 配置：转子 + 腔体镍镀层，半导体蚀刻、CVD 腐蚀性气体专用，防氟化氢、氯化氢腐蚀

2. 变频节能：负载自适应调速、待机休眠，空载功耗大幅下降

3. 智能电控：自带 LCD 面板、故障代码存储、温度 / 震动 / 氮气压力全报警，支持 RS485 通讯上产线 PLC

4. 合规认证：SEMI‑S2、CE、NRTL，晶圆厂原厂标配规格

四、适用工况