一、型号释义

• 200：机型规格，标称抽速 20000L/min

• N=Nickel 镍合金腔体 + 内置氮气吹扫（防腐款）；同系列 P 仅带氮吹、普通材质

• 全系列无油干式、水冷、直流变频电机

二、关键技术参数

三、产品优势

1. 节能：变频怠速休眠，同级别功耗偏低，适配半导体间歇工艺

2. 紧凑体积：占地小，晶圆设备机台内置常用

3. 全防护：N 款镍腔体 + N₂吹扫，适配含卤素、酸性气体制程

4. 合规：SEMI-S2、CE、NRTL 半导体行业标准

四、主流应用场景

• 半导体：刻蚀机、PVD/CVD 镀膜、Loadlock 晶圆传片腔体

• 光电：LED、光伏镀膜、OLED 制程

• 科研：SEM/TEM 电镜、真空腔体、镀膜机

• 锂电：极片真空烘烤、注液脱气

五、同系列区分

• EV-S200：基础普通款（无氮吹、碳钢）

• EV-S200P：普通腔体 + 氮气吹扫

• EV-S200N：镍合金腔体 + 氮气吹扫（防腐首选）