玉崎科学仪器(深圳)有限公司
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EBARA荏原EV-S200N干式真空泵
200:机型规格,标称抽速 20000L/min
N=Nickel 镍合金腔体 + 内置氮气吹扫(防腐款);同系列 P 仅带氮吹、普通材质
全系列无油干式、水冷、直流变频电机
节能:变频怠速休眠,同级别功耗偏低,适配半导体间歇工艺
紧凑体积:占地小,晶圆设备机台内置常用
全防护:N 款镍腔体 + N₂吹扫,适配含卤素、酸性气体制程
合规:SEMI-S2、CE、NRTL 半导体行业标准
半导体:刻蚀机、PVD/CVD 镀膜、Loadlock 晶圆传片腔体
光电:LED、光伏镀膜、OLED 制程
科研:SEM/TEM 电镜、真空腔体、镀膜机
锂电:极片真空烘烤、注液脱气
EV-S200:基础普通款(无氮吹、碳钢)
EV-S200P:普通腔体 + 氮气吹扫
EV-S200N:镍合金腔体 + 氮气吹扫(防腐首选)