玉崎科学仪器(深圳)有限公司
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日本EBARA荏原干式真空泵EV-S100P
EV-S20P:标配氮气吹扫 N₂ Purge,普通材质腔体,适配轻微腐蚀工艺
EV-S20N:镍合金防腐腔体 + 氮气吹扫,强腐蚀性废气工况专用
基础款 EV-S20:无氮气吹扫、普通碳钢材质
无油干式真空泵,罗茨多级结构,符合 SEMI-S2/CE 半导体行业标准
自带 LCD 可编程控制器、故障报警、运行数据存储、休眠节能模式
体积紧凑、低功耗,半导体、LED、光伏镀膜、实验室真空常用
P/N 靠氮气隔绝腐蚀性气体,N 型镍合金耐 HF、酸碱腐蚀气体