型号区分（P/N 后缀含义）

• EV-S20P：标配氮气吹扫 N₂ Purge，普通材质腔体，适配轻微腐蚀工艺

• EV-S20N：镍合金防腐腔体 + 氮气吹扫，强腐蚀性废气工况专用

• 基础款 EV-S20：无氮气吹扫、普通碳钢材质

核心参数

产品特点

1. 无油干式真空泵，罗茨多级结构，符合 SEMI-S2/CE 半导体行业标准

2. 自带 LCD 可编程控制器、故障报警、运行数据存储、休眠节能模式

3. 体积紧凑、低功耗，半导体、LED、光伏镀膜、实验室真空常用

4. P/N 靠氮气隔绝腐蚀性气体，N 型镍合金耐 HF、酸碱腐蚀气体

应用领域