爱发科 ULVAC HR60｜高温耐腐蚀多级罗茨干式真空泵
一、产品定位
HR60 是HR 高温型无油干泵（对标 LR 常温型），泵体恒温加热≈150℃，专为半导体刻蚀、CVD、ALD、灰化工艺设计，防止工艺副产物粉尘 / 反应物冷凝结垢堵泵，耐腐蚀性气体，全程无油、真空洁净无油污染。
二、核心参数（原厂标准）
表格
| 项目 | HR60 参数 |
|---|---|
| 抽速 50Hz | 62m³/h（1030L/min） |
| 抽速 60Hz | 80m³/h（1333L/min） |
| 极限真空 | ≤0.1Pa |
| 进气口径 | NW40 |
| 供电 | 三相 200/220V 50/60Hz，满载≈7A |
| 冷却方式 | 水冷标配 |
| 净重 | 约 95kg |
| 转子结构 | 3 级串联罗茨、无接触干式压缩 |
三、关键特性
高温均热：泵腔整体恒温 150℃，刻蚀 / CVD 生成物全程气态排出，杜绝腔内积粉卡死；
耐腐构造：内腔零件特种硬化防腐涂层，适配 Cl、F 系腐蚀性工艺尾气；
氦气屏蔽电机：全密闭结构，轴封标配 N₂轴吹扫（5SLM）、可选气镇 0~45SLM；
断电保护：1000ms 瞬时停电防倒灌保护；
RS485 通讯：可联机上位机监控温度、电流、报警履历。
四、应用行业
晶圆刻蚀机、PECVD/ALD 镀膜、半导体灰化、LED / 光伏镀膜设备、精密电子制程真空机组。
五、配套与选型
同系列：HR90、HR300、HR600、HR1200（逐级加大抽速）；
前端搭配：PRC 系列罗茨增压泵，组成机组提升大流量抽气效率。
六、常见故障 & 维保
真空变差：轴密封老化、吹扫氮气不足、入口滤芯堵粉；
过载高温：工艺粉尘沉积转子间隙变小、冷却水流量不足；
保养周期：轴承润滑脂 1 年更换，腔体视粉尘工况 6~12 个月拆机清洁。